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ハイテクノロジーで未来の一歩をサポートする

TEL. 042-523-2871

〒190-0012 東京都立川市曙町2-16-6テクノビル3F

ナノインプリント用スタンプ(モールド)Stamp (Mold) for Nano-imprint



 
モスアイ         マイクロレンズ        回折格子         Siスタンプ 

製品・サービス
@ 標準スタンプの販売    
A カスタムスタンプの販売    
B 受託サービス (ナノインプリント、リソグラフィー)
メーカー
NIL Technology Aps(2006年デンマークのコペンハーゲンで設立、ナノインプリントモールドとインプリントサービスなどを提供、2011年にCNIツールを発表
     



@ 標準スタンプ 

10種類
一覧表はこちらをクリックして下さい        
お見積
HTLへお問合せ下さい




A カスタムスタンプ 

材料 シリコン
スタンプ
石英スタンプ ニッケルスタンプ 石英65スタンプ
主な用途 熱式インプリント UVインプリント 熱式インプリントやホットエンボス 全てのインプリント方式
スタンプサイズ 2, 3, 4, 6インチウエハー(丸)                         またはそれより小さい矩形 2, 3, 4, 6インチウエハー(丸)、それより小さい矩形。またはそれより大型の基板も可能 65x65mm
スタンプ厚 通常500μm - 最高2mm 通常300μm - 1mm 最高2mm 6.35mm
パターンデザイン お客様指定データ
パターンサイズ >20nm
アスペクト比 1:2 - 1:10 1:1 - 1:5 1:1 - 1:4 1:2 - 1:4
台地部サイズ N/A 最大25x25mm  通常10x10mm
台地部高さ N/A 15μm
台地部周辺 N/A 透明、不透明(クロム塗布)
離形表面処理
詳細・お見積
HTLにお問合せ下さい。お見積もりはデータをご提供の上で算出致します。

    



B 受託サービス 

ナノインプリント受託
NIL Technology 社は電子ビーム(EB)と先端プロセス技術を使って作成したナノインプリントスタンプを元にナノパターンの転写サービスを行います
短期間のナノインプリント工程が必要なお客様向け
詳細はHTLまでお問合せ下さい    
EBリソグラフィー受託
EB用レジストのスピンコート、ドライエッチングプロセス、薄膜の成膜サービスもご提供致します
使用EBリソグラフィー装置: JOEL社製 JBX9300FS/2 (ガウシアンビーム)、Vistec社製 SB352HR (可変成型ビーム)
一般的な要件: 
1.基板:2, 4, 6インチウエハー、65x65x6.35mm、6025マスクブランクス
2.造形物の寸法:20nm - 1.0μm
3.設計ファイルフォーマット:GDSII、DXF (AutoCADフォーマット)
お見積は以下の要件を満たしたGDSII又はDXFファイルを頂いてから行います
1.設計図はデザイン上の全てのオプジェクトを正しい寸法と形状で含んでいること
2.全てのオプジェクトは最高199角の多角形であり、丸みのあるオプジェクト、幅のないラインは存在しないこと

バナースペース

株式会社エイチ・ティー・エル

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