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ハイテクノロジーで未来の一歩をサポートする

TEL. 042-523-2871

〒190-0012 東京都立川市曙町2-16-6テクノビル3F

小型、大型フォトマスク描画装置Small, Large Area Photomask Writer

 

   DWLシリーズ        VPGシリーズ

製品
VPG-200,400,800,1400,& ADVANCED Photomask writer
特徴
高速レーザー描画 (波長355nm)
Crマスク、エマルジョンマスク対応
最小線幅
0.7μm (VPGシリーズ)
レジスト3次元形成     (DWLシリーズ)
  
メーカー
 Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (1984設立) 
累積出荷台数
400台以上

バナースペース

株式会社エイチ・ティー・エル

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