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ハイテクノロジーで未来の一歩をサポートする

TEL. 042-523-2871

〒190-0012 東京都立川市曙町2-16-6テクノビル3F

フォトマスク用測定、検査、修正装置Mask Metrology,Inspection & Repair System

   

Venus(微小寸法測定装置)
FPD用フォトマスクのCD(パターン寸法)を正確に測定

・長期安定性と防振性に優れた高精度XYステージとリニアスケールによる正確なフィードバックシステムにより、良好な再現性を実現。

・高解像度モノクロCCDカメラ(200万画素、1/1.8インチ)と高性能マイクロスコープにより鮮明な画像の取得が可能。

・自動計測により、マスクのたわみや反りによる影響を受けず、オペレータによるばらつきのない、安定した測定結果を取得可能。

・対応フォトマスクサイズ ≤ G10 (カスタマイズ可)
Mercury(精密座標測定装置)
FPD用フォトマスクの線幅、開口径、Total pitchや座標位置などの寸法を自動測定

・高位置決め精度、高平坦度を誇るエアスライダと測定テーブル

・ナノメーターでテーブル位置を制御するレーザ干渉計とリニアエンコーダー

・環境変化を最小化するサーマルチャンバー、など

・対応フォトマスクサイズ ≤ G10 (カスタマイズ可)

これら最先端のオプトメカトロニクスを駆使し、世界最高水準の測定精度を実現。
また、独自の測定ソフトと基準マスクで精度校正、誤差要因を完全に補正し、理想的な格子座標系を構築、優れた測定精度と再現性を保証
Draco(FIB欠陥修正装置)
AM-OLED用高精度大型フォトマスク・ハーフトーンマスク対応の最新モデル

・部分真空システムによる装置設置面積の縮小化を実現

・部分真空システムによるローディング時間の短縮を実現

・FIBによる高精度膜厚制御

・OPCなど、微小かつ複雑パターンの完全パターンコピーに対応

・対応フォトマスクサイズ ≤ G10 (カスタマイズ可)
Gemini(欠陥検査装置)
AM-OLED用高精度大型フォトマスク・ハーフトーンマスク対応の最新モデル

・高速、高分解能、Die to Database、Die to Die検査

・繰り返しパターンを必要としないコンタクトホール専用アルゴリズム

・強化された単純差分比較アルゴリズム

・検出欠陥の透過/反射イメージキャプチャーによる検査中レビュー機能

・透過検査、反射検査の同時検査機能
Sculptor
(レーザ欠陥修正装置)
FPD用フォトマスク用
・高精度で白黒欠陥やハーフトーン欠陥等の多彩な修正が可能

・独自開発の光学系を使用。アパーチャビームによる高速大面積の欠陥修正とスポットビームによる微小欠陥の高精度修正を実現

・スルーペリクル対応(ZAPのみ)

・高安定・長寿命なLD励起固体レーザを使用し安定した欠陥修正

・最大対応フォトマスクサイズ:G10 (カスタマイズ可)
Sculptor
(レーザ欠陥修正装置)
半導体用フォトマスク用
・高精度で多彩な白黒欠陥修正が可能

・独自開発の光学系を使用。アパーチャビームによる高速大面積の欠陥修正とスポットビームによる微小欠陥の高精度修正を実現

・スルーペリクル対応(ZAPのみ)

・高安定・長寿命LD励起固体レーザ、高精度エアスライッダーステージを使用

・対応フォトマスクサイズ 5インチ~9インチ
メーカー
 
株式会社ブイ・テクノロジー (1997年設立、フラットパネル向け測定装置で多数の実績 )

バナースペース

株式会社エイチ・ティー・エル

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東京都立川市曙町2-16-6テクノビル3F

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