フォトマスク用修正装置Mask Repair System
- CRS400
(レーザ欠陥修正装置)
FPD用フォトマスク用 - ・VTEC-HTL 共同開発半導体Middle/Low、電子部品用フォトマスク修正装置
・長寿命LD励起固体レーザを使用し安定した白黒欠陥修正
・独自開発の光学系を使用。アパーチャビームによる高速大面積の欠陥修正とスポットビームによる微小欠陥の高精度修正を実現
・スルーペリクル対応（ZAPのみ）
・コンパクトサイズ W2,550 x D2,500 x H2,300
・対応フォトマスクサイズ ５インチ～９インチ
バナースペース
株式会社エイチ・ティー・エル
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