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ハイテクノロジーで未来の一歩をサポートする

TEL. 042-523-2871

〒190-0012 東京都立川市曙町2-16-6テクノビル3F

フォトマスク用修正装置Mask Repair System

       

CRS400
(レーザ欠陥修正装置)
FPD用フォトマスク用
・VTEC-HTL 共同開発半導体Middle/Low、電子部品用フォトマスク修正装置

・長寿命LD励起固体レーザを使用し安定した白黒欠陥修正

・独自開発の光学系を使用。アパーチャビームによる高速大面積の欠陥修正とスポットビームによる微小欠陥の高精度修正を実現

・スルーペリクル対応(ZAPのみ)

・コンパクトサイズ W2,550 x D2,500 x H2,300

・対応フォトマスクサイズ 5インチ~9インチ



バナースペース

株式会社エイチ・ティー・エル

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